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描述:半導體前驅體材料研發(fā)裝置是一套專門為研發(fā)半導體前驅體材料而設計的復雜設備組合。
標題:半導體前驅體材料研發(fā)裝置
產(chǎn)品概述
高精度反應釜:能夠精確控制溫度、壓力和攪拌速度,以實現(xiàn)各種復雜的化學反應。
惰性氣體保護系統(tǒng):防止前驅體在合成過程中與空氣中的成分發(fā)生反應,影響產(chǎn)物純度。
高精度計量泵:確保各種原料按照精確的比例添加。
原料儲罐:用于儲存純凈的原材料,保證原料的質量和穩(wěn)定性。
精餾塔:用于分離和提純揮發(fā)性成分。
膜過濾裝置:去除微小的雜質顆粒和大分子物質。
電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS):精確分析金屬雜質含量。
氣相色譜-質譜聯(lián)用儀(GC-MS):檢測有機成分和雜質。
元素分析儀:確定元素組成。
自動化控制系統(tǒng):實時監(jiān)控和調整反應參數(shù),保證實驗的重復性和穩(wěn)定性。
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